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半导体

Semiconductor Solutions For Emerging Electronics

针对与半导体加工相关的难题,海洋光学可为集成商提供实时光学传感解决方案,这些集成商能为芯片和电子产品制造商提供端点检测、等离子蚀刻和剥离/清洗设备和服务。

解决方案

我们提供用于实时监控半导体工艺的光电直读光谱仪:

  • 腔室灭菌
  • 蚀刻
  • 沉积
  • 光学端点检测
  • 等离子灰化/清洗

光学传感在半导体工艺监控中的优势

  • 实时测量
  • 灵活的端点检测设置等
  • 高度稳定,在工艺环境中性能可靠
Silicon Wafer With Microchips

我们的策略

applied spectral knowledge feasibility chart

我们已与半导体和工业合作伙伴合作数十年,积累了丰富的制造经验。

  • 从原型到生产的合作关系。我们可以设计、优化、提升规模和供应产品。
  • 与我们的海洋光学实验室服务团队联系,快速开始可行性测试和评估。
  • 稳定可靠,值得信赖。我们通过了ISO9001:2015认证,是英国豪迈国际有限公司(英国富时100指数的成分股)的子公司,拥有超过25年的服务经验。
  • 以经验和专业知识激发信心

海洋光学实验室服务提供先进的专业知识、专用设施和高级算法,助力客户实现项目目标。

基于光谱的传感器不仅可用于半导体沉积和蚀刻工艺,还可用于腔室灭菌。这些工具可用于优化晶圆产量和质量。

高级蚀刻设备工程师 Benedict Delahunty - GlobalFoundries

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