半导体
- Semiconductor
针对与半导体加工相关的难题，海洋光学可为集成商提供实时光学传感解决方案，这些集成商能为芯片和电子产品制造商提供端点检测、等离子蚀刻和剥离/清洗设备和服务。
解决方案
我们提供用于实时监控半导体工艺的光电直读光谱仪：
- 腔室灭菌
- 蚀刻
- 沉积
- 光学端点检测
- 等离子灰化/清洗
光学传感在半导体工艺监控中的优势
- 实时测量
- 灵活的端点检测设置等
- 高度稳定，在工艺环境中性能可靠
我们的策略
我们已与半导体和工业合作伙伴合作数十年，积累了丰富的制造经验。
- 从原型到生产的合作关系。我们可以设计、优化、提升规模和供应产品。
- 与我们的海洋光学实验室服务团队联系，快速开始可行性测试和评估。
- 稳定可靠，值得信赖。我们通过了ISO9001:2015认证，是英国豪迈国际有限公司（英国富时100指数的成分股）的子公司，拥有超过25年的服务经验。
- 以经验和专业知识激发信心
海洋光学实验室服务
海洋光学实验室服务提供先进的专业知识、专用设施和高级算法，助力客户实现项目目标。
基于光谱的传感器不仅可用于半导体沉积和蚀刻工艺，还可用于腔室灭菌。这些工具可用于优化晶圆产量和质量。
其他案例研究
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改进半导体制造
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