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改善半导体制造,提高工艺效率和产品质量

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Electronic Engineer of Computer

海洋光学与半导体解决方案供应商GlobalFoundries合作,协力改进支持5G和物联网等新兴电子技术的工艺

挑战

制造半导体设备是一个复杂的过程,工艺精度很高。为保证产品质量,尽量降低晶圆损耗,生产时需确保气体无污染、气体混合物精度高,并在等离子体清洗室安排终点检测,以及精确定时的沉积和蚀刻终点检测。

监测半导体腔室清洁、沉积和蚀刻过程的传统方法会降低晶圆产量,并造成腔室退化。现在,制造商可以利用光学发射光谱法(OES)和机器学习来精确、高速地监控工艺,从而生产出质量更高的半导体材料,以满足电子和纳米技术行业的新需求。