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半导体

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Semiconductor Solutions For Emerging Electronics

海洋光学为半导体加工中的端点检测和等离子蚀刻提供光学感测解决方案。我们的光谱仪和配件使得芯片设计和制造一线的研究人员、原始设备制造商和集成商受益匪浅。

解决方案

我们提供用于实时监控半导体工艺的光电直读光谱仪:

  • 腔室灭菌
  • 蚀刻
  • 沉积
  • 光学端点检测
  • 等离子灰化/清洗

 

光谱仪用于半导体工艺流程监测的优势

  • 实时测量
  • 设备装置具有灵活,适用于终点检测等
  • 稳定性高,在工艺环境中性能可靠
Silicon Wafer With Microchips

我们已与半导体和工业合作伙伴合作数十年,积累了丰富的制造经验。

  • 从原型到生产的合作关系。我们可以设计、优化、提升规模和供应产品。
  • 与我们的海洋光学实验室服务团队联系,快速开始可行性测试和评估。
  • 稳定可靠,值得信赖。我们通过了ISO9001:2015认证,是英国豪迈国际有限公司(英国富时100指数的成分股)的子公司,拥有超过25年的服务经验。
  • 以经验和专业知识激发信心
基于光谱的传感器不仅可用于半导体沉积和蚀刻工艺,还可用于腔室灭菌。这些工具可用于优化晶圆产量和质量。

高级蚀刻设备工程师 Benedict Delahunty - GlobalFoundries

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